Warum der Goldreflektor-Infrarotstrahler das Geheimnis für eine bessere Härtung von Halbleitern ist
Die alte Methode – Trocknen mit Lösungsmitteln sowie Verwendung großer Konvektionsöfen – funktioniert heutzutage einfach nicht mehr. Alle streben nach „grünen“ und bleifreien Lösungen – doch die eigentliche Herausforderung besteht darin, dies ohne Verlangsamung der gesamten Fertigungskette zu erreichen.
Dabei kommt die Infrarotbehandlung ins Spiel. Doch hier liegt das Problem: Ein einfacher Heizelement reicht nicht aus. Man benötigt einen Goldreflektor-Infrarotstrahler.
Die Magie des Goldes
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch diese saugen zu viel Energie auf. Das ist verschwenderisch. Gold hingegen reflektiert etwa 98 Prozent der Infrarotenergie direkt zurück auf den Wafer. Dadurch entsteht eine intensive, konzentrierte Wärmezone genau dort, wo sie benötigt wird. Der Vorteil: Das ganze Maschinengehäuse wird nicht erhitzt, und es wird keine Energie für die Luft um das Bauteil verschwendet. Dadurch bleibt die Größe der Anlage klein und die Stromkosten gering.
Optimierung des Prozesses
Beim traditionellen Trocknen müssen oft gezielte Luftströmungen sowie schädliche flüchtige organische Verbindungen verwendet werden. Das ist unpraktisch und veraltet. Bei der Infrarotbehandlung erfolgt hingegen eine direkte Energieübertragung. Es entstehen keine Verbrennungsprodukte, und Lösungsmittel spielen keine Rolle mehr. Die Materie wird direkt erwärmt. Das ist eine viel sauberere Methode – und genau deshalb wechseln viele Betriebe auf diese Technologie, um Energie zu sparen.
Die Schwierigkeiten
Es handelt sich dabei jedoch nicht um eine einfache Lösung. Diese Strahler erzeugen eine enorme Wärmestärke. Die Zeitabstimmung ist entscheidend: Wenn die Transportbahn auch nur ein wenig verrutscht oder der Controller versagt, kann das Substrat beschädigt werden. Zudem müssen die Kühlfans ausreichend leistungsfähig sein – sonst kann die Goldschicht abplatzen.
Wir haben diese Strahler so konzipiert, dass sie als Ersatz für die alten Konvektionssysteme dienen können. Man tauscht einfach die Heizquelle aus, schließt sie an einen präzisen Controller an – und schon reduziert sich die Härtungszeit von mehreren Minuten auf nur wenige Sekunden.
Das ist wirklich ein enormer Unterschied!