Hören Sie auf, zuzulassen, dass Staub Ihre Vakuumheizungen zerstört.
Wenn Sie etwas in einem Reinraum der Klasse 100 oder in einer Kammer mit hohem Vakuum erwärmen, kennen Sie sicherlich die Probleme. Man benötigt nicht nur Wärme – sondern auch eine „reine“ Wärmequelle.
Die meisten Standardheizelemente sind in solchen Umgebungen ein Albtraum. Sie geben Gase ab oder setzen kleine Mikropartikel frei, die anschließend auf den Wafern oder optischen Beschichtungen landen. Das ist frustrierend – schon ein kleiner Staubkorn kann dazu führen, dass die gesamte Charge ruiniert wird.
Deshalb verwenden wir für unsere Infrarotlampen hochreines synthetisches Quarzmaterial.
Das Problem mit dem Ausgasen
Wir nutzen geschmolzenes Silizium mit extrem niedrigem Schadstoffgehalt. Warum? Weil Glas niedrigerer Qualität den Effekt des Ausgasens aufweist. Wenn Sie schon einmal eine billige Lampe verwendet haben, wissen Sie, dass diese in den ersten Stunden nach dem Einschalten flüchtige organische Verbindungen oder Metalloxide abgeben. Unser Quarz macht das nicht – er hält das Vakuum steril. Zudem kann er die starken Temperaturschwankungen aushalten, ohne dabei zu brechen.
Umgang mit dem Vakuum
Im Vakuum gibt es keine konvektive Kühlung – alles geschieht durch Strahlung. Wir haben diese Lampen so gestaltet, dass sie eine hohe Leistungsdichte genau dort bereitstellen, wo sie benötigt wird – also an dem Zielobjekt. Dadurch werden die Wände der Kammer nicht übermäßig erhitzt. Achten Sie darauf, dass Ihre Wasserkühlung ausreicht, um die Leistung der Lampe zu bewältigen. Andernfalls können die Vakuumdichtungen beschädigt werden – und das möchte niemand.
Für den Reinraum entwickelt
Wir haben alle unnötigen Komponenten entfernt – keine Klebstoffe, keine porösen Beschichtungen – nichts, was im Laufe der Zeit abblättern könnte. Die Lampen sind schlank gestaltet, was es ermöglicht, weniger Platz einzunehmen und sie leichter zu reinigen. Wir verwenden außerdem spezielle Anschlüsse, damit nichts in die Kammer eindringen kann.
Noch ein Tipp: Wenn Sie diese Lampen in alte Geräte einbauen, überprüfen Sie unbedingt die Stromversorgung. Hochleistungsquarzlampen verbrauchen beim Einschalten viel Strom. Stellen Sie sicher, dass Ihre Verkabelung diese Belastung bewältigen kann. Andernfalls kommt es zu Spannungsabfällen, und die Erwärmung erfolgt ungleichmäßig. Das ist nicht ideal.