وقتی که در حال ساخت سنسورهای هیدروژن هستید، در واقع درگیر یک بازی پرخطر هستید. حتی یک ذره گرد و غبار نیز میتواند کل محموله را خراب کند.
به همین دلیل، استفاده از گرمکنهای معمولی در اتاقهای تمیز کلاس ۱۰۰، یک فاجعه است؛ زیرا این گرمکنها بلافاصله پس از شروع به گرم شدن، ذراتی تولید میکنند یا گازهایی را در محیط آزاد میکنند. این موضوع، خطری است که نمیتوانید تحمل کنید.
ما برای حل این مشکل، از لامپهای مادون قرمز با خلوص بالا استفاده میکنیم.
دلیل این کار این است که ما از سیلیکا مصنوعی برای ساخت پوشش لامپ استفاده میکنیم؛ این ماده در دماهای بالا تقریباً حرکت نمیکند. همچنین، این ماده ترک نمیخورد و پوسته نمیشود؛ و چون از سیلیکا خالص ساخته شده است، هیچ ناخالصی یا مادهای وجود ندارد که در دماهای بالا به بخار تبدیل شود.
گرما از طریق تشعشعات مادون قرمز کوتاهامواج منتقل میشود؛ این تشعشعات مستقیماً به سطح مورد نظر برخورد میکنند. این روش باعث میشود که هوای اطراف گرم نشود؛ که این مزیت بزرگی است، زیرا از ایجاد جریانهای هوایی که باعث بلند شدن گرد و غبار از کف میشوند، جلوگیری میشود.
حالا بیایید درباره مرحله «سوختن» لامپ صحبت کنیم.
احتمالاً لامپهای هالوژنی را دیدهاید؛ این لامپها اغلب از چسبها یا مواد مهرکننگ ارزانقیمتی استفاده میکنند که در اولین بار روشن شدن، دود تولید میکنند یا مواد زیانآوری را آزاد میکنند. ما چنین کاری نمیکنیم؛ ما از مواد مهرکننگ تخصصی و الکترودهای با کیفیت بالا استفاده میکنیم، و تمام پوششهای ارگانیک را از روی لامپ برداشته میشویم.
نتیجه چیست؟ لامپی که در طول فرآیند تولید، تمیز و بیصدا باقی میماند؛ هیچ گازی آزاد نمیشود و هیچ مشکلی پیش نمیآید.
البته، یک مشکل وجود دارد… این لامپها بسیار قدرتمند هستند؛ میتوانید دمای مورد نظر را در عرض چند ثانیه به دست آورید. اما چون این لامپها بسیار قدرتمند هستند، باید مراقب نحوه نصب آنها باشید؛ اگر لامپ را خیلی محکم ببندید، لوله لامپ تحت فشار حرارتی خراب خواهد شد.
توصیه من این است که از سیستمهای نصب مخصوص استفاده کنید؛ تا لامپ فضای کافی برای تنفس داشته باشد.
نصب این لامپها در خط تولید بسیار ساده است؛ ما مقدار دقیق ولتاژ و طول لامپ را برای شما تعیین خواهیم کرد؛ در این صورت، گرما در سراسر ویفر سنسور یکنواخت خواهد بود.
هیچ نقطه داغی وجود ندارد؛ هیچ آلودگیای نیز وجود ندارد؛ فقط گرمای خالص وجود دارد.