حفظ تمیزی ویفرهای MEMS در حین خشک کردن
اگر در یک اتاق تمیز درجه ۱۰۰ کار میکنید، میدانید که چقدر این موضوع آزاردهنده است؛ یک تکه کوچک از ذرات ناشی از هیتر، میتواند کل مجموعه ویفرها را بیفایده کند. به همین دلیل، ما از لامپهای IR سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم.
بیشتر عناصر گرمایشی، با گذشت زمان، گاز تولید میکنند یا شروع به پوستهپوسته شدن میکنند؛ اما این لامپهای کوارتز چنین مشکلی ندارند. آنها گرمای لازم برای خشک کردن سریع ویفرها را فراهم میکنند، بدون اینکه هیچ ذره فلزی در پس صحنه باقی بماند.
چرا کوارتز مؤثر است؟
ما از نور مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این نور میتواند رطوبت روی سطح ویفر را سریعتر از گرمای طول موج بلند از بین ببرد.
از آنجایی که کوارتز بسیار خالص است، نیازی نیست نگران مهاجرت یونها به سنسورهای MEMS باشید. علاوه بر این، پوشش کوارتزی به عنوان یک درب محکم عمل میکند و فیلامنت تنگستن را از هوای اتاق تمیز جدا نگه میدارد. ما از شیشههای ارزانقیمت استفاده نمیکنیم؛ زیرا آنها نمیتوانند در برابر فشار مقاومت کنند و در همان ابتدا خرد میشوند.
تولید گرمای زیاد در فضای کوچک
این لامپها، مقدار زیادی گرما در هر اینچ از سطح خود تولید میکنند؛ این امر به معنای این است که میتوانید فضای مورد نیاز برای هیتر را کاهش دهید، در حالی که همچنان گرمای کافی برای تبخیر سریع مایعات وجود دارد. همچنین، این لامپها با کنترلرهای PID موجود نیز سازگار هستند؛ بنابراین دمای ویفرها دقیقاً همانطور که میخواهید، حفظ میشود.
نکته مهم:
از آنجایی که چگالی گرما بسیار بالاست، سطح لامپ به سرعت گرم میشود. اگر بدنه لامپ برای تحمل جریان هوای گرم ساخته نشده باشد، ممکن است بدنه لامپ تغییر شکل دهد یا سنسورهای گرمایشی فعال شوند. این موضوع را باید در هنگام نصب لامپ در نظر بگیرید.
خشک کردن واقعی
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین سیستمهای خودکار مربوط به مدیریت ویفرها شوند. این لامپها، کل سطح ویفر را به طور یکنواخت گرم میکنند؛ بنابراین هیچ «نقاط سرد» وجود ندارد، و هیچ ردپای آب یا ذرات نیز روی سطح ویفر باقی نمیماند.
بهترین بخش این لامپها این است که هیچ هوای گرمی روی ویفر وجود ندارد؛ بنابراین نیازی نیست با ناهمواریهای ناشی از جریان هوا مشکل داشته باشید. سطح ویفر کاملاً خشک خواهد بود.