در فرآیند پخت، حتی تغییر جزئی در دما میتواند باعث اختلال در ابعاد مهم قطعات شود و در نتیجه کل محموله را بیارزش کند. ما کنترلکننده توانSCR را برای لامپ طراحی کردیم تا این نوسانات را در منبع اصلی مهار کند؛ به این ترتیب خروجی لامپ مطابق با استانداردهای مشخص شده خواهد بود، نه مطابق با ولتاژ خط لوله.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارند؟ این یک کنترلکننده SCR با حلقه بسته است که با درایور لامپ هماهنگ شده است؛ این درایور برای منابع نوری هالوژن، کوارتز، موج کوتاه، موج متوسط و الیاف کربنی مناسب است. در این سیستم، یکنواختی دمایی در سطح ویفرها بین ±۰.۱ درجه سانتیگراد خواهد بود؛ همچنین تکرارپذیری بین تولیدات مختلف نیز در حد ±۰.۲ درجه سانتیگراد باقی میماند. خروجی لامپ نیز در حد ۰.۱٪ از مقدار تنظیم شده خواهد بود؛ همچنین پاسخگویی لامپ به تغییرات مقدار تنظیم شده، در کمتر از ۱۰ میلیثانیه انجام میشود. این دستگاه برای استفاده در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ هیچ ذرهای از سیستم حرارتی تولید نمیشود، و طراحی آن به گونهای است که از اختلالات ناشی از EMI جلوگیری کند.
فرآیندهای پردازش فوتورزیست، از جمله پخت نرم، پخت سخت و پخت پس از قرارگیری در معرض نور، بستگی به میزان حرارت دارند. با استفاده از کنترلکننده SCR، انرژی لامپ ثابت میماند؛ در نتیجه میتوانید هر بار به ابعاد مورد نظر دست یابید. این امر منجر به کاهش تعداد کارهای تکراری، افزایش بازدهی در تولید اولیه، و داشتن پروفایلهای حرارتی قابل اعتماد در بین ویفرها و محمولههای مختلف میشود.
همچنین، از نظر انرژی نیز صرفهجویی میشود؛ زیرا لامپ مجبور نیست برای جبران نوسانات، بیش از حد فعال شود؛ در نتیجه عمر لامپ نیز در شرایط فعالیت پایدار، افزایش مییابد.
اینها جزئیات عملی لازم برای استفاده از این دستگاه هستند. درایور باید با منحنی مقاومت لامپ در حالت شروع کار هماهنگ شود؛ در غیر این صورت، لامپ میتواند جریان زیادی را تولید کند و سیستم حفاظتی را فعال کند. برای نصب این دستگاه، نیاز به یک خط کنترلی مخصوص و بدون سر و صدا وجود دارد؛ همچنین، رابط حرارتی باید تمیز و صاف باشد تا یکنواختی دمایی حفظ شود.
انتظار داشته باشید که برای تنظیم PID برای لامپ و سطح مربوطه، نیاز به یک آزمایش کوتاه باشد.