
Pourquoi nous abandonnons les fours à convection au profit des lampes infrarouges à ultra-haute pureté
Depuis longtemps, les usines de semi-conducteurs comptent sur ces gros fours à convection. Mais honnêtement, ils sont un peu dépassés. On observe actuellement une tendance forte vers l’utilisation de lampes infrarouges à ultra-haute pureté. Il ne s’agit pas seulement d’atteindre des objectifs liés à l’énergie verte ou de respecter des règles relatives à l’absence de plomb – c’est aussi une question de bon sens.
Pensez-y : les systèmes à air forcé essaient de chauffer toute la pièce juste pour sécher une puce. C’est excessif. Les lampes à ultra-haute pureté, quant à elles, envoient de l’énergie directement sur le substrat, grâce aux rayonnements électromagnétiques. Pas de médiateurs nécessaires.
La physique est en réalité assez simple.
Lorsque l’on utilise un séchoir traditionnel, on gaspille beaucoup d’énergie pour chauffer les parois intérieures de l’appareil. C’est comme essayer de réchauffer une maison en chauffant l’allée d’accès. Avec les lampes à ultra-haute pureté, on cible uniquement les bandes d’absorption spécifiques du revêtement chimique ou du photorésistant. Il suffit d’actionner un interrupteur, et c’est instantané. Pas besoin d’attendre que l’appareil se réchauffe. Cela permet d’utiliser beaucoup moins d’électricité par puce, ce qui plaît aux responsables financiers.
Maintenir la propreté
Dans une salle propre, le problème principal est l’émission de gaz. Une seule particule en mauvaise position peut causer des problèmes. C’est pourquoi nous fabriquons ces lampes à partir de quartz synthétique de haute pureté et de filaments spéciaux. Nous veillons à ce qu’aucune poussière ne se détache. Et quand nous parlons d’“absence de plomb”, nous ne parlons pas seulement de la soudure utilisée sur les cartes électroniques. Nous parlons de tout le processus. En utilisant des lampes infrarouges, on n’a pas besoin de solvants ou de systèmes de ventilation qui pourraient transporter des polluants. On obtient ainsi une surface propre et sèche. Point final.
L’inconvénient (car il y en a toujours un)
Le problème, c’est que ces lampes génèrent beaucoup d’énergie en un espace très restreint. C’est bien pour traiter davantage de puces, mais cela exerce une grande pression sur les systèmes de refroidissement. Si vous utilisez des lampes à forte puissance sans améliorer votre système de refroidissement par eau froide, vous risquez de surchauffer les bords des puces, ce qui provoque leur déformation. Il faut donc trouver l’équilibre entre la puissance de la lampe et la masse thermique du substrat.
La bonne nouvelle ? Ces lampes peuvent être intégrées directement dans vos systèmes de vide ou atmosphériques existants. Vous pouvez ainsi éliminer ces ventilateurs et chauffages gourmands en énergie, ce qui réduit également votre empreinte carbone.