שמירה על טהרת וופרים ה-MEMS במהלך תהליך הייבוש
אם אתם עובדים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם יודעים מה זה אומר: חלקיק קטן בלבד של לכלוך מהחימום יכול להרוס את כל הוופרים שלכם. זה מתסכל מאוד. לכן אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום מסוג קוורץ בעל טוהר גבוה.
רוב אלמנטי החימום פולטים גזים או מתחילים להתפרק עם הזמן. צינורות הקוורץ אינם עושים זאת. הם מספקים חום מהיר שמאפשר ייבוש מהיר של הוופרים, אך ללא שיישארו שרידים מתכתיים.
למה קוורץ הוא הפתרון הטוב
אנו בוחרים באור אינפרא-אדום בגלים קצרים מסיבה ברורה – הוא מצליח לחדור את הלחות שעל פני הוופרים במהירות גדולה יותר מאשר חום בגלים ארוכים.
מכיוון שהקוורץ טהור מאוד, אין צורך לדאוג להעברת יונים לחיישני ה-MEMS. בנוסף, המעטפת של הקוורץ משמשת כאטם הרמטי, ומונעת מחוט הטונגסטן להיחשף לאוויר בחדר הנקי. אנו נמנעים משימוש בזכוכית זולה, מכיוון שהיא אינה עמידה בפני הלחץ – היא עלולה להישבר מיד לאחר תהליך החימום המהיר.
ייצור חום בשטח קטן
נורות אלו מספקות הרבה וואטים לכל אינץ’. היתרון? ניתן להקטין את גודל המכשיר, ועדיין לקבל מספיק חום כדי לאדות נוזלים במהירות. הן גם תואמות את מערכות הבקרה PID הקיימות, כך שהטמפרטורה נשארת בדיוק ברמה הרצויה.
יש עם זאת דבר אחד שצריך להביא בחשבון: מכיוון שצפיפות החום גבוהה מאוד, פני הנורה נהיים חמים מאוד במהירות. אם המעטפת של הנורה אינה מותאמת לזרימת אוויר בטמפרטורות גבוהות, עלול להיווצר עיוות במכשיר או שהחיישנים לחום יתחילו להתפעל שוב ושוב. זה משהו שצריך להיות בתשומת הלב במהלך ההתקנה.
ייבוש אמיתי
נורות אלו נועדו להחליף את מערכות הטיפול האוטומטיות בוופרים. הן מחממות את כל שטח הוופר באופן אחיד, כך שאין “נקודות קרות” ואין שרידי מים או לכלוך.
והדבר הטוב ביותר? אין צורך באוויר חם שנושב על פני הוופר. אין צורך להתמודד עם הטורבולנציה שגורמת להתפזרות של חלקיקים מהקצוות. כך נשארת הפנים של הוופר יבשה ונקייה.