अपनी ऊर्जा को बर्बाद मत करें।
मानक इन्फ्रारेड लैंपों की समस्या यह है कि वे ऊर्जा को हर दिशा में भेजते हैं… 360 डिग्री में।
जब ऐसे लैंपों को सेमीकंडक्टर चैंबर में रखा जाता है, तो न केवल वेफर ही गर्म होता है, बल्कि मशीन की आंतरिक दीवारें, चेसिस, एवं मशीन के अन्य हिस्से भी गर्म हो जाते हैं। यह ऊर्जा की बर्बादी है… और वास्तव में, यह एक सुरक्षा संबंधी समस्या भी है। कोई भी ऐसी मशीन नहीं चाहेगा, जिससे ऑपरेटर को चोट पहुँच सके… क्योंकि ऊर्जा हर जगह फैल जाती है।
समाधान:
हम इस समस्या का समाधान क्वार्ट्ज आवरण के पीछे पतली सोने की परत लगाकर करते हैं। इसे इन्फ्रारेड प्रकाश के लिए एक “उच्च-गुणवत्ता वाला दर्पण” मान सकते हैं। ऐसा करने से ऊर्जा पीछे की ओर न जाकर सीधे आगे की ओर जाती है।
इससे आवश्यक स्थान पर ही अधिक ऊष्मा प्राप्त होती है… जिससे वेफर को आवश्यक तापमान मिल जाता है… जबकि मशीन की दीवारें ठंडी ही रहती हैं।
नुकसान:
चूँकि ऊर्जा एक ही दिशा में जाती है, इसलिए लक्षित स्थान पर ऊष्मा का स्तर बहुत अधिक हो जाता है। यदि सामग्री इस ऊष्मा को सहन नहीं कर पाती, तो सब्सट्रेट पर गर्म बिंदु बन सकते हैं। ऐसी स्थिति में PID कंट्रोलरों को समायोजित करना आवश्यक है… लेकिन यह एक छोटा सा समायोजन है… लेकिन इससे बहुत फायदा होता है।
यह क्यों महत्वपूर्ण है?
जब सोने से लेपित लैंपों का उपयोग किया जाता है, तो कूलिंग फैनों की आवश्यकता ही नहीं रह जाती… चैंबर की दीवारों पर भारी ऊष्मा-सुरक्षा उपकरणों की भी आवश्यकता नहीं रह जाती।
इससे पूरी मशीन हल्की हो जाती है… ऑपरेटर आराम से मशीन के आसपास घूम सकते हैं… और ऊर्जा-खर्च भी कम हो जाता है… क्योंकि अब मशीन के अंदर की हवा गर्म नहीं होती।
यह वाकई बेहतरीन समाधान है।