Dalam proses litografi, proses pengerasan polimida bukan sekadar langkah pemanasan biasa. Sebenarnya, kawalan suhu merupakan faktor penting yang menentukan kebolehpercayaan peranti tersebut. Perubahan suhu sebanyak 1°C sahaja sudah boleh menyebabkan tekanan berlebihan pada lapisan polimida, sehingga merosakkan sambungan antara komponen-komponen tersebut. Ini akan membuang masa seminggu kerja yang telah dilakukan. Oleh itu, diperlukan sistem yang menganggap suhu sebagai sebahagian daripada proses tersebut, bukan sesuatu yang perlu dipertimbangkan selepasnya.
Apa yang penting dalam sistem ini
Kami membina sistem ini dengan memastikan kestabilan suhu pada tahap ±0.1°C, dan hal ini disahkan melalui penggunaan sensor yang dipasang di seluruh permukaan wafer. Pemanas yang digunakan pula adalah jenis kuarsa, yang direka untuk memberikan hasil pemanasan yang cepat dan konsisten. Dengan cara ini, polimida akan masuk ke dalam lintasan pengerasan yang tepat, tanpa adanya kelewatan atau pelbagai masalah berkaitan suhu.
Keserasian dengan bilik bersih juga telah direka sejak awal: bahan-bahan yang digunakan memenuhi standard Kelas 1–100, sambungan-sambungan dibuat secara kedap, dan komponen-komponen yang digunakan mempunyai kadar pelepasan gas yang rendah. Tiada penghasilan zarah-zarah berbahaya – ini bukan sekadar slogan, tetapi ia diukur melalui pemantauan yang dilakukan semasa proses pengendalian wafer. Hasilnya adalah proses pengerasan yang konsisten, dari satu syif ke syif yang lain.
Mengapa sistem ini berkesan di kilang sebenar
Proses pengerasan polimida sangat penting untuk memastikan kelajuan pengeluaran dan kualiti produk. Kawalan suhu yang ketat dapat mengurangkan pembaziran dan kerja-kerja pembetulan yang diperlukan, serta memastikan dimensi-dimensi penting kekal stabil. Sistem ini beroperasi 24/7, dengan jadual penyelenggaraan yang teratur, tanpa gangguan yang tidak dijangka.
Keupayaan sistem untuk mencapai suhu yang stabil dengan cepat, serta kadar penggunaan tenaga yang rendah, membolehkan kos operasi dikurangkan tanpa mengorbankan ketepatan proses.
Apa yang perlu dirancang
Sistem ini memerlukan bekalan tenaga yang stabil dan aliran udara yang terkawal, agar suhu dapat kekal pada tahap ±0.1°C walaupun keadaan persekitaran berubah. Integrasi sistem ini dengan sistem lain adalah mudah, tetapi ruang yang diperlukan serta laluan udara perlu dirancang terlebih dahulu.
Lakukan ujian pendek untuk menentukan parameter pengerasan polimida yang tepat. Setelah itu, proses pengerasan akan berjalan dengan lancar.