Op de lithografiefaciliteiten is de herhaalbaarheid van het verhitten van de fotoresist geen bonus, maar een essentieel onderdeel van het proces. Een verschil van 2°C tijdens het zacht of hard verhitten kan ertoe leiden dat de controle over de belangrijkste dimensies niet meer mogelijk is. Bovendien kan één enkele deeltje al tot problemen leiden voor een hele batch producten. We hebben onze ozonvrije infraroodlampen ontworpen om deze variabelen uit te sluiten.
Wat technisch gezien belangrijk is
Deze lampen werken met nabije-infraroodstraling en hebben geen ozonemissies. Hierdoor hoeft u geen katalytische converter te gebruiken, waardoor er minder onderhoud nodig is. Over het gehele belichte gebied blijft de thermische uniformiteit rond de ±0,1°C, terwijl de herhaalbaarheid tussen verschillende producties rond de ±0,2°C ligt.
Het systeem is ontworpen voor schone ruimtes van klasse 1–100: er worden materialen gebruikt die weinig gas uitstoten, de optische paden zijn afgesloten en de luchtcirculatie zorgt ervoor dat er geen deeltjes in contact komen met de wafer. De stabiliteit van de output ligt onder 1% na meer dan 5.000 uur gebruik – dit betekent dat het systeem 24/7 kan werken zonder regelmatige kalibratie.
Waarom het systeem in de productie werkt
Het verwerken van fotoresist hangt af van de thermische omstandigheden. Onze IR-lampen verwarmen de wafer snel en direct, met nauwkeurige controle die ervoor zorgt dat de thermische omstandigheden consistent blijven van batch tot batch. Hierdoor wordt de uniformiteit van de wafer beter behouden, zijn er minder herwerkingen nodig en kan de opbrengst beter worden gepland.
Omdat de lamp snel het gewenste temperatuurniveau bereikt en dit niveau behoudt, wordt de energieverbruik verminderd. Het lange gebruikstermijn verlaagt ook de behoefte aan reserveonderdelen en onderhoudswerk. Op geavanceerde productieniveaus beschermt deze combinatie van ozonvrije werking, minimale deeltjevorming en nauwkeurige temperatuurcontrole de wafer en de omgeving waarin de apparaten zich bevinden.
Wat u moet meenemen in overwegingen
Deze lampen kunnen worden geïntegreerd in standaard halfgeleiderapparatuur, maar de thermische belasting is belangrijk. Tijdens de installatie moet rekening worden gehouden met de warmteafvoer van de apparatuur en de luchtcirculatie. Als de koelingsoplossing niet goed is, zal de langdurige stabiliteit ernstig worden beïnvloed.
Voer eerst een kort testproces uit om te controleren of de temperatuurinstellingen goed zijn. Zodra deze instellingen kloppen, kan het proces soepel verlopen.