Op de afdeling voor lithografie is het harden van polyimide geen gewone verhittingsstap. Het is juist de temperatuur die bepaalt hoe betrouwbaar het...

Op de productievloer kan een drift van 0,3°C in de photoresist bake uitmonden in een lijnbreedte-afwijking die een hele batch tot afval verklaart....

On the line hangt de doorvoer van fotovoltaïsche wafers af van betrouwbare thermische controle. Laat de temperatuur tijdens de soft bake een paar...

Op de fabrieksvloer kan één fout tijdens de soft bake een volledige lithografieshift doen mislukken. Als de drooglamp minder presteert, verschuiven...