Stop met het toestaan dat uw verwarmingsonderdelen uw wafers beschadigen
Als u een steriele ruimte van klasse 100 gebruikt, kent u vast wel dit probleem. Eén klein stofdeeltje – dat u zelfs niet kunt zien – kan op een wafer terechtkomen, waardoor de hele partij onbruikbaar wordt. Het is frustrerend en kostbaar. Meestal komt dit door uitstoot van gassen of afbraak van de verwarmingsonderdelen.
We hebben besloten dit op te lossen door hoogzuivere synthetische kwarts te gebruiken voor onze IR-lampen.
Waarom kwarts belangrijk is
Standaard glas of goedkope kwarts kunnen de hoge temperaturen in een halfgeleideromgeving niet aan. Bij hoge temperaturen breken deze onzuiverheden af. U zult dan zien dat de lamp ‘rookt’ of dat er deeltjes vrijkomen wanneer u de lamp inschakelt.
Ons gefuseerde silicium is anders. De metalen onzuiverheden zijn zeer laag, zodat de lamp schoon blijft. Bovendien is het chemisch inert: het reageert niet op de processiegassen die u in de ruimte pompt.
Het juiste moment om warmte toe te passen
U wilt dat de wafer snel heet wordt. Maar u wilt de lucht eromheen niet verwarmen.
Onze lampen maken gebruik van kortegolfradiatie. Deze straling raakt rechtstreeks de oppervlakte van de wafer. Dit is belangrijk, omdat het de convectiestromingen verminderd, waardoor stofdeeltjes niet richting het product worden geblazen.
U kunt deze lampen aanpassen aan uw specifieke vermogen en spanning. Als u kiest voor een hoge vermogensdichtheid, bespaart u veel ruimte in de kamer. Let er echter op: veel vermogen die door een kort buisje wordt geleid, zorgt voor veel hitte. Zorg ervoor dat uw koelsystemen in staat zijn om deze hitte op te vangen, anders kunnen uwconnectoren beschadigd raken.
Eenvoudige vervangingen, minder stress
Niemand wil urenlang bezig zijn met onderhoud. Wij bieden verschillende opties voor de eindkappen, zodat u een goede afsluiting hebt. Dit is de enige manier om lekken in de kamer te voorkomen.
Als een lamp kapotgaat, hoeft u hem alleen maar eruit te halen en er een nieuwe in te doen. U hoeft geen hele installatie opnieuw te bedraad of de hele dag te besteden aan het schoonmaken van het gebied. Het is snel, schoon en u kunt weer verder werken, zonder dat er nieuwe contaminanten binnendringen tijdens de vervanging.