Houd je MEMS-wafers schoon tijdens het drogen
Als je in een klasse-100 schone ruimte werkt, weet je hoe vervelend het kan zijn: één klein stukje vuil van de verwarmer is al voldoende om heel je batch wafers onbruikbaar te maken. Het is frustrerend. Daarom kiezen we voor hoogzuivere synthetische kwarts-IR-lampen.
De meeste verwarmings-elementen geven na verloop van tijd gas af of beginnen te barsten. Deze kwartsbuizen doen dat niet. Ze zenden een hoge hoeveelheid warmte uit, zodat de wafers snel kunnen worden gedroogd. Tegelijkertijd blijft er geen metalen vuil achter.
Waarom kwarts eigenlijk werkt
We kiezen voor kortegolf-Infraroodlicht omdat dit veel sneller vocht op het oppervlak van de wafers kan verwijderen dan langegolflicht. Omdat het kwarts zo zuiver is, hoef je je geen zorgen te maken over ionen die op de MEMS-sensors terechtkomen. Bovendien fungeert de kwartsomhulling als een stevige afsluiting, zodat het wolfraamfilament beschermd wordt tegen de lucht in de schone ruimte. We vermijden goedkope glazen, want deze kunnen de hoge temperaturen niet aan – ze zouden direct breken.
Veel vermogen in een kleine ruimte
Deze lampen leveren veel vermogen op per inch. Het voordeel is dat je de afmetingen van de verwarmer kunt verminderen, terwijl je nog steeds voldoende warmte hebt om vloeistoffen snel te laten verdampen. Ze werken ook goed samen met je bestaande PID-regelaars, zodat de temperatuur precies blijft waar je hem wilt hebben.
Eén ding om rekening mee te houden: omdat de warmtestraling zo intens is, wordt het oppervlak van de lamp snel heet. Als de behuizing niet bestand is tegen hoge temperaturen, kan het chassis beschadigen of kunnen de oververhittingsdetectoren actief worden. Houd hier rekening mee tijdens de installatie.
Drogen in de praktijk
We hebben deze lampen ontworpen als vervanging voor geautomatiseerde systemen voor het hanteren van wafers. Ze verwarmen het hele oppervlak van de wafel gelijkmatig, zodat er geen ‘koude plekken’ ontstaan en er geen watervlekken of restanten achterblijven.
En dit is het beste deel: er komt geen hete lucht op het oppervlak van de wafel terecht. Je hoeft je geen zorgen te maken over turbulentie die vaak stofdeeltjes van de randen van de wafel blazen. Je krijgt dus een droog oppervlak en een wafel die echt schoon is.