Thời gian xử lý: Tại sao tia hồng ngoại lại vượt trội hơn phương pháp sử dụng không khí nóng trong môi trường chân không?
Nếu bạn làm việc trong lĩnh vực chế tạo bán dẫn, bạn chắc hẳn biết rằng khó khăn lớn nhất chính là chi phí thời gian. Hầu hết mọi người đều bắt đầu bằng phương pháp sử dụng không khí nóng. Phương pháp này có hiệu quả, nhưng tốc độ xử lý lại chậm. Bạn phải làm nóng không khí trước, sau đó mới hy vọng rằng không khí đó sẽ làm nóng wafer. Nhưng vấn đề là, khi hoạt động trong môi trường chân không, bạn sẽ không còn không khí nữa. Điều đó khiến quá trình xử lý trở nên khó khăn hơn.
Đây chính là lúc các thiết bị sưởi bằng tia hồng ngoại trở nên hữu ích. Thay vì phải dựa vào không khí để truyền nhiệt, tia hồng ngoại truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt wafer. Điều này giúp rút ngắn thời gian xử lý xuống còn vài giây thay vì vài phút. Thật nhanh. Rất nhanh. Và điều này thay đổi hoàn toàn quy trình làm việc của bạn.
Những khó khăn liên quan đến môi trường chân không
Bạn không thể đơn giản sử dụng bất kỳ loại bộ sưởi nào trong môi trường chân không. Các bộ sưởi thông thường thường “thải khí”. Trong môi trường chân không, bất kỳ chất bôi trơn hay hợp chất hữu cơ nào trên bộ sưởi đều có thể gây ô nhiễm cho wafer. Đó là điều mà ai cũng muốn tránh.
Để ngăn chặn điều này, chúng ta sử dụng vỏ bọc bằng thạch anh và các điện cực được chế tạo riêng cho môi trường chân không. Điều này giúp ngăn chặn sự rò rỉ khí và chất bẩn. Một điều cần lưu ý là mật độ năng lượng. Các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại có công suất cao, do đó chúng tạo ra nhiều nhiệt trong một không gian nhỏ. Nếu hệ thống làm mát không đủ hiệu quả, nhiệt lượng dư thừa sẽ làm biến dạng các chi tiết máy. Hãy kiểm tra các thông số kỹ thuật trước khi bật thiết bị.
Tăng số lượng wafer được xử lý mỗi giờ
Lợi ích lớn nhất của việc sử dụng tia hồng ngoại chính là khả năng kiểm soát quá trình xử lý. Bạn có thể tạo ra những xung nhiệt nhanh chóng, thực hiện quy trình xử lý, sau đó ngắt ngay quá trình đó. Bạn không cần phải chờ đợi cho đến khi lò nung nguội hẳn. Điều này giúp các kỹ sư xử lý được nhiều wafer hơn mỗi giờ. Bạn có thể thay thế bộ quạt thông thường bằng bộ điều khiển năng lượng chính xác và bộ sưởi được thiết kế riêng cho môi trường chân không. Nhờ đó, tốc độ xử lý sẽ tăng lên đáng kể.