למה אנו עוזבים את התנורים בעלי אוורור חום לטובת נורות אינפרא-אדום ברמת טוהר גבוהה במשך זמן רב, מפעלי שבבים הסתמכו על תנורים אלו. אבל למען האמת? הם...

תפסיקו לאפשר לחום שנוצר להתפזר לכל מקום הבעיה עם נורות IR היא שהן פולטות חום לכל הכיוונים. בחדרי אפיון של חומרים שבביים, כל האנרגיה שלא פוגעת בשבב...

מדוע תאורת אינפרא-אדום עם מחזר זהב היא הסוד לייבוש טוב יותר של חומרים חצי-מוליכים השיטות הישנות – ייבוש באמצעות חומרים ממסים ותנורי חימום גדולים –...

למה חימום באמצעות אינפרא-אדום הוא הפתרון הטוב ביותר לשבבים מודרניים תעשיית השבבים נמצאת תחת לחץ רב להפסיק את השימוש בחומרים המכילים עופרת ולהפוך את...

הקדמה דמיינו לעצמכם תחנת שטיפה – מים בכל מקום, ונורה אינפרא-אדומה שצריכה לפעול ללא תקלות. זו סיטואציה מאתגרת – מים וחשמל לא מתאימים זה לזה. לכן אנו...

בחדר הייצור, שינוי קל בטמפרטורה של חצי מעלה בלבד יכול לפגוע במידות החשובות של המוצר, ולגרום לביטול כל האצווה. לכן ייצרנו מנגנון בקרה של SCR עבור...

בקו הייצור, סטיות טמפרטורליות אינן מצב חריג שניתן להתעלם ממנו. הן מתבטאות בשינויים ברוחב הקווים, באחיזה חלשה של החומרים, ובירידה באיכות המוצר. יש...

בקו של 300mm, אפשר לראות את התפוקה נגררת החוצה עם סטייה של 0.5°C במהלך אפיית הפוטורזיסט. השליטה ברוחב הקו מתדרדרת במהירות. בנינו את מנורת הייבוש שלנו...

על רצפת המפעל, תקלה אחת באפייה הרכה יכולה להשבית משמרת שלמה בתחום הליתוגרפיה. אם מנורת הייבוש מתחילה להניב ביצועים נמוכים, פרופילי הפוטורזיסט משנים...

בקומת הליתוגרפיה, השעון מתחיל לרוץ ברגע שהוופרט מגיע לטמפרטורה. אפיית רכה ואפיית קשה אינן רק “שלבי חימום”. אלו שלבים של בקרה ממדית. סטייה...