シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る 大量生産型の半導体工場において、赤外線ランプが壊れると大変な問題になります。単に数時間間機械が停止するだけではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントがシリコンウェーハの上に降り注ぐことになります。わずかな破損でも、ウェーハが汚染され...

IRを利用してファブの加熱をコントロールする 正直に言うと、昔ながらの加熱方法ではもはや十分ではありません。現代の半導体や電子機器の製造工場で働くなら、勘に頼るわけにはいきません。データが必要です。 だからこそ、私たちは赤外線（IR）システムを活用します。クリーンルーム内の空気全体を温めるのではな...

手を火傷しないように：半導体製造装置を加熱するためのより良い方法 もし半導体製造工場で働いたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。装置の内部は高温でなければならないのに、外側の壁は冷たく保たれていなければなりません。 問題は、一般的な抵抗式ヒーターでは熱が過剰に放出されてしまうことです。エ...