ポリイミド焼成用赤外線ランプ

リソグラフィーの工程において、ポリイミドの加熱処理は、熱エネルギーをどのように制御するかという点で重要です。数度の温度変動があると、ウェーハの側壁に歪みが生じます。また、局所的な過熱があると、ウェーハ上に粒子が発生します。したがって、この加熱処理は、すべてのロットにおいて、再現性があり、クリーンで...