産業用ウエハーヒーター工場

ファブフロアでは、フォトレジストベークの温度が0.3℃ずれるだけで、ライン幅が逸脱し、ロット全体がスクラップになることがある。大量ウェハ製造において、熱制御は「あると良いもの」ではなく、歩留まりを確保するかスクラップを出すかの境界線である。 内部で重要なポイント 当社は半導体プロセスウィンドウに適...