クラス100の清浄室を運用している場合、ガス発生という問題は避けられないものです。ヒーター要素から少しの汚れが飛び出すだけで、生産ライン全体が壊れてしまいます。 半導体製造工場では、一般的な赤外線ランプは適していません。高い温度によって劣化しやすく、微細な粒子を放出してしまいます。それらの粒子は本...

半導体製造工程における乾燥処理、特に化学的な洗浄工程で働いている方なら、その状況がどのようなものかご存知でしょう。そこでは、火がつきやすい蒸気が存在します。このような環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険な存在です。わずかな火花やクォーツ管の破損が起きれば、大変な問題が発生し...

なぜ、すべてのランプ管をテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） こちらでは「ランダムサンプリング」は行いません。私たちの工場から出荷されるすべてのランプ管は、完全な耐電圧試験および絶縁抵抗試験を受けます。 なぜでしょうか？というのも、製造環境においては、わずかな絶縁不良でも大問題になり得る...

化学物質の近くで赤外線ヒーターを使用する際には、安全性を確保することが重要です。正直に言って、化学物質が存在する場所に赤外線ランプを置くのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の溶剤や爆発性の蒸気がある場所では、単なる石英管だけでは危険すぎます。それは、いつ災害が起きてもおかしくない状態です。...

手を火傷しないように：半導体製造装置を加熱するためのより良い方法 もし半導体製造工場で働いたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。装置の内部は高温でなければならないのに、外側の壁は冷たく保たれていなければなりません。 問題は、一般的な抵抗式ヒーターでは熱が過剰に放出されてしまうことです。エ...

なぜ、現代のチップにとっては赤外線による硬化処理の方が適しているのか チップ産業では、鉛フリー化やカーボンニュートラル化を実現するための圧力が強まっています。多くの工場では依然として古い方式の対流式オーブンが使われていますが、問題は、そのようなオーブンは大きな空間を温めるために大量のエネルギーを消...

はじめに 24時間体制で稼働する製造ラインを想像してみてください。そのような環境では、ヒーターは単なる部品ではありません。それは、製造プロセス全体を支える重要な要素なのです。 だからこそ、私たちは独自の方法でこのヒーターを設計しました。石英ランプを中心に、産業用の乾燥や加熱の要求に応えられる強力で...

300mmラインでは、よく知られている問題があります。つまり、フォトレジストを加熱する際に1℃のずれが生じると、重要な寸法が規格から外れてしまいます。このようなことを防ぐために、私たちは炭素繊維製の赤外線ランプシステムを開発しました。これにより、通常使われるハロゲンや石英光源の代わりに、NIR領域...

リソグラフィー工程において、ポリイミドの硬化処理は単なる加熱工程に過ぎません。実際には、この温度制御がデバイスの信頼性を決定づける重要な要素です。ウェーハの温度が1℃変動するだけで、応力が変化し、配線にひびが入り、1週間かけて行った作業が台無しになってしまいます。したがって、温度を単なる後付けの要...

製造現場では、フォトレジスト処理における温度ドリフトを、長年付き合ってきた厄介な敵のように扱うことを学びます。ウェーハ全体で±3℃のばらつきを持つ90℃のソフトベイク？この程度の温度分布のズレは、クリティカルディメンションのバイアスを変化させ、後に手戻りとなるエッジビードを発生させます。そこで、私...