高効率ウェーハ乾燥バルブ

300mmラインでは、フォトレジストベイク中の0.5℃のドリフトで歩留まりが大きく低下するのを目の当たりにします。ライン幅の制御が急速に乱れます。私たちはこのばらつきを抑え、かつファブが24時間365日稼働している間も安定動作するウェハードライヤーバルブを開発しました。 技術的に重要な点 バルブは...