クリーンルームの設備がアップグレードされる

手を火傷しないように：半導体製造装置を加熱するためのより良い方法 もし半導体製造工場で働いたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。装置の内部は高温でなければならないのに、外側の壁は冷たく保たれていなければなりません。 問題は、一般的な抵抗式ヒーターでは熱が過剰に放出されてしまうことです。エ...