炭素繊維赤外線ランプ工場

300mmラインでは、よく知られている問題があります。つまり、フォトレジストを加熱する際に1℃のずれが生じると、重要な寸法が規格から外れてしまいます。このようなことを防ぐために、私たちは炭素繊維製の赤外線ランプシステムを開発しました。これにより、通常使われるハロゲンや石英光源の代わりに、NIR領域...