デジタルIRを使って無鉛硬化処理を正しく行う方法 半導体業界では、無鉛で環境に優しい製品への移行が積極的に進められています。これは良い動きですが、乾燥処理がより難しくなります。そのため、私たちはデジタル赤外線コントローラーを活用しています。対流空気や強力な化学溶剤を使う代わりに、IRはエネルギーを...

300mmラインでは、フォトレジストベイク中の0.5℃のドリフトで歩留まりが大きく低下するのを目の当たりにします。ライン幅の制御が急速に乱れます。私たちはこのばらつきを抑え、かつファブが24時間365日稼働している間も安定動作するウェハードライヤーバルブを開発しました。 技術的に重要な点 バルブは...