IRランプ用アルミリフレクター

リソグラフィフロアでは手順はおなじみだろう。フォトレジストのベーク時に1℃の変動があれば、ロット全体が廃棄になることもある。熱制御はセットポイントのように安定して動作しなければならず、予測不能な要素になってはいけない。だからこそ、歩留まりが繰り返し性にかかっている半導体グレードの加熱用にアルミ製...