クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター
オーブンの内壁を温めるのをやめて、製品自体を温めるようにしましょう。
半導体製造装置の外側のケースがとても熱くなっているのに、中のウエハーはほとんど温まっていないという状況に遭遇したことはありませんか?これは本当に困ったことです。多額の電力代を支払っているのに、そのエネルギーの大部分は装置の内壁で...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
ウェーハに正確な熱を与えるには
クリーンルームのベンチで赤外線ランプを使用するとき、うまくバランスを取る必要があります。ウェーハに正確な熱を与える必要がありますが、エネルギーを無駄にしたり、周囲の環境を壊してしまってはいけません。
そのため、私たちは金メッキされた反射板を使用します。これにより、支...