乾燥処理中にMEMSウェーハを常に清潔に保つために クラス100のクリーンルームで作業している人なら、その悩みはよくわかるでしょう。ヒーターから出るわずかな破片だけで、大量のウェーハが使えなくなってしまいます。本当にイライラしますよね。だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用してい...

半導体製造工程における乾燥処理、特に化学的な洗浄工程で働いている方なら、その状況がどのようなものかご存知でしょう。そこでは、火がつきやすい蒸気が存在します。このような環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険な存在です。わずかな火花やクォーツ管の破損が起きれば、大変な問題が発生し...

卸売用ウェーハ乾燥ランプ：そのパワーの背後にある真実 半導体ウェーハを迅速に乾燥させる方法について話しましょう。必要なのは、高品質な工業用加熱装置です。大手メーカー製品と同等の性能が求められますが、高額なコストは避けたいものです。まさにそのために、私たちはこの赤外線ランプを開発しました。手軽に取り...

ファブフロアでは、ソフトベークのひとつのトラブルがリソグラフィのシフト全体を台無しにすることがある。乾燥ランプの性能が低下すると、フォトレジストのプロファイルがずれ、歩留まりに影響を及ぼす。このウェハ乾燥用ランプバルブはそのリスクを低減するために設計されており、熱制御を仕様内に維持しつつ、コストを...