半導体製造工程における乾燥処理、特に化学的な洗浄工程で働いている方なら、その状況がどのようなものかご存知でしょう。そこでは、火がつきやすい蒸気が存在します。このような環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険な存在です。わずかな火花やクォーツ管の破損が起きれば、大変な問題が発生してしまいます。
私たちは、そのようなリスクを避けるために、開放型の加熱方式を使わず、専用のケースにランプを収める方法を採用しました。
ケースの仕組み これは、高機能な保護装置と考えてもよいでしょう。赤外線発振器をサファイアや化学的に耐性のあるクォーツで作られたケースの中に封じ込めます。単なる覆いではなく、完全に密閉されています。
これにより、加熱要素と有害な蒸気との間に物理的な壁ができ、化学物質がケースの内部に漏れ出ることはありません。また、ランプが部屋中に浮遊する蒸気によって誤って点火される心配もありません。つまり、より安全なのです。
デメリットとその対策 ただし、ガラス製のケースを使うと、直接の熱が少し失われます。これは物理学上の原理です。
しかし、私たちはそれを克服する方法を持っています。ワット数を調整したり、発振器の焦点距離を微調整することで、引き続き適切な乾燥効果を得ることができます。また、ケースが過度に熱くなる心配もありません。
さらに、フィラメントが独立した制御された雰囲気の中にあるため、腐食性の化学物質によってダメージを受けることもありません。その結果、ランプの寿命が延びます。
システムへの導入 最良な点は、これらのランプは既存の設備にそのまま取り付けることができるということです。ケースが電気接続部のヒートシンクとして機能するため、絶え間ない熱ストレスによって端子が壊れる心配もありません。
ただ一点注意が必要です。時間が経つと、ケースの外側が汚れてしまいます。定期的に清掃を行う必要があります。汚れが溜まると、ガラス面に「ホットスポット」ができ、それが原因で熱による破損が起こります。きちんと清潔にしておけば、問題なく機能し続けます。