省エネ型半導体ヒーター
化学処理ラインでの爆発を防ぐ方法
半導体の洗浄工程を行っている人なら、その危険性はよく知っているでしょう。扱うのは可燃性の溶剤や蒸気であり、これらは簡単に火を引き起こしてしまいます。通常のIRランプを使えば、大変な事態になってしまいます。
そのため、私たちは開放型の加熱方式を使わないようにしていま...
工場乾燥部門のエネルギー監査
半導体製造工程における乾燥処理、特に化学的な洗浄工程で働いている方なら、その状況がどのようなものかご存知でしょう。そこでは、火がつきやすい蒸気が存在します。このような環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険な存在です。わずかな火花やクォーツ管の破損が起きれば、大変な問題が発生し...
省エネ型ウェーハヒーター
IR加熱を活用して最適なレイアウトを実現する
もし、インダストリー4.0向けのスマートなファブを構築しようとしているのであれば、従来の加熱方法を使うのはやめるべきです。そうした古いシステムではもはや十分ではありません。
最近では、高効率な赤外線(IR)加熱装置が主流になっています。その理由は、デジ...