半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る 大量生産型の半導体工場において、赤外線ランプが壊れると大変な問題になります。単に数時間間機械が停止するだけではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントがシリコンウェーハの上に降り注ぐことになります。わずかな破損でも、ウェーハが汚染され...