ウェーハ処理装置用温度センサー

ヒーター要素によってウェーハが損傷するのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はご存知でしょう。見えないほど微小な汚れがウェーハに付着するだけで、一括して廃棄せざるを得なくなります。これは非常に厄介で、コストもかさみます。通常、この問題はヒーター要素からのガス...