リソグラフィー工程において、ポリイミドの硬化処理は単なる加熱工程に過ぎません。実際には、この温度制御がデバイスの信頼性を決定づける重要な要素です。ウェーハの温度が1℃変動するだけで、応力が変化し、配線にひびが入り、1週間かけて行った作業が台無しになってしまいます。したがって、温度を単なる後付けの要...

リソグラフィーの工程において、ポリイミドの加熱処理は、熱エネルギーをどのように制御するかという点で重要です。数度の温度変動があると、ウェーハの側壁に歪みが生じます。また、局所的な過熱があると、ウェーハ上に粒子が発生します。したがって、この加熱処理は、すべてのロットにおいて、再現性があり、クリーンで...