化学処理ラインでの爆発を防ぐ方法 半導体の洗浄工程を行っている人なら、その危険性はよく知っているでしょう。扱うのは可燃性の溶剤や蒸気であり、これらは簡単に火を引き起こしてしまいます。通常のIRランプを使えば、大変な事態になってしまいます。 そのため、私たちは開放型の加熱方式を使わないようにしていま...

半導体製造において、適切な温度を維持するためのIR加熱の活用 近年、どの工場でも炭素中和が求められています。そのため、赤外線加熱ランプの使用が増えてきています。これらのランプは、従来の対流式オーブンのように部屋全体を加熱するのではなく、必要な場所だけに熱を集中させるのです。 しかし、問題点もありま...

シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る 大量生産型の半導体工場において、赤外線ランプが壊れると大変な問題になります。単に数時間間機械が停止するだけではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントがシリコンウェーハの上に降り注ぐことになります。わずかな破損でも、ウェーハが汚染され...

無駄な熱の放出をやめましょう 一般的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。360度全方位に放射されます。 このような石英製ランプを半導体加工装置の中に入れると、ウェーハだけでなく、装置の内壁やケース、そしてその他すべての部分も加熱されてしまいます。これは電力の無駄遣いであ...

なぜ半導体用の赤外線ヒーターにはPTFE被覆の配線を使用するのか？ スマートファブを運営している場合、赤外線システムの配線方法は、全体の運用に大きな影響を与えます。半導体ヒーターの場合、私たちはPTFE（テフロン）被覆の配線を使用します。なぜでしょうか？それは、クリーンルームという過酷な環境では、...

製造現場において、熱ドリフトは単なる理論上の問題ではありません。それはウェーハの線幅の変動や接着力の低下、歩留まりの悪化といった形で現れます。したがって、温度を安定させ、迅速に設定値に到達し、日々清潔な状態を維持できる熱源が必要です。 技術的に重要な点 クォーツハロゲン電球は、高速かつ安定した赤外...