安価なウェハー乾燥ランプ用電球

ファブフロアでは、ソフトベークのひとつのトラブルがリソグラフィのシフト全体を台無しにすることがある。乾燥ランプの性能が低下すると、フォトレジストのプロファイルがずれ、歩留まりに影響を及ぼす。このウェハ乾燥用ランプバルブはそのリスクを低減するために設計されており、熱制御を仕様内に維持しつつ、コストを...