高速応答赤外線ヒーターバルブ

リソグラフィフロアでは、ウェーハが温度に達した瞬間からタイマーが動き始める。ソフトベークやハードベークは単なる「加熱工程」ではなく、寸法管理の工程である。2℃の変動がCDを動かし、数秒のオーバーシュートが良好なシリコンを損なう。熱システムがレシピに追従できなければ、ラインはスクラップ、手直し、予期...