真空対応型赤外線ヒーター

加熱サイクルの時間：なぜ真空下では赤外線が熱風より優れているのか 半導体の高度な加工を行う場合、最も問題となるのが「時間コスト」です。 多くの人はまず熱風を使って加熱を行います。これでも効果はありますが、速度が遅いのです。つまり、空気を温めて、その空気がウェーハを温めるのを待つわけです。しかし、真...