ウェーハ表面張力測定用ヒーター

リソグラフィーの工程では、焼成温度がわずか半度でも変動すると、重要な寸法の制御が失われてしまいます。そうなると、ウェーハを廃棄せざるを得なくなります。 私たちは、このような温度変動を未然に防ぐために、ウェーハ表面の表面張力を測定するヒーターを開発しました。これは、フォトレジストの化学反応、熱的条件...