オゾンフリー赤外線ランプ

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの焼成過程での再現性は、単なる望ましい特性ではなく、むしろ不可欠な要素です。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃でも温度が変動すると、ウェーハの寸法制御が乱れてしまいます。また、わずかな粒子の混入だけで、大量のウェーハが廃棄されてしまうこともあります。そ...