省エネ型ウェーハヒーター

IR加熱を活用して最適なレイアウトを実現する もし、インダストリー4.0向けのスマートなファブを構築しようとしているのであれば、従来の加熱方法を使うのはやめるべきです。そうした古いシステムではもはや十分ではありません。 最近では、高効率な赤外線（IR）加熱装置が主流になっています。その理由は、デジ...