バイオセンサーの製造における炭素排出量削減：なぜ私たちは赤外線を採用したのか バイオセンサーを製造する際には、困難な硬化や乾燥の工程が伴います。長年にわたり、業界では従来の対流式オーブンが使用されてきました。しかし、大量の空気を温めるだけで、ごく小さなセンサーを温めるのは、エネルギーの無駄遣いです...

機器自体を加熱するのではなく、センサーだけを加熱しましょう。 バイオセンサーを作るには、適切な温度制御が不可欠です。しかし、一般的なIRランプは、エネルギーをあらゆる方向に放出するため、実質的にはスペースヒーターのようなものです。 問題は、装置の内壁が巨大なスポンジのように機能し、余分な熱を吸収し...

なぜ、従来の対流式オーブンを捨ててUHP赤外線硬化装置を使うのか？ 長年にわたり、半導体工場では大きな対流式オーブンが使われてきました。しかし正直なところ、それらはもう時代遅れです。今では、超高純度のUHP赤外線ランプが急速に普及しています。これは単に「グリーンエネルギー」の目標を達成したり、鉛フ...

クラス100の基準を満たすために、IRヒーターを十分に清潔に保つことが重要です。バイオセンサーを製造する際には、ミスの余地は一切ありません。ほんのわずかなほこりや、ヒーターから出る微小な破片だけで、ウェーハが壊れたり、生物学的な分析が台無しになったりしてしまいます。 クラス100（ISO 5）の基...

クラス100の清浄室を運用している場合、ガス発生という問題は避けられないものです。ヒーター要素から少しの汚れが飛び出すだけで、生産ライン全体が壊れてしまいます。 半導体製造工場では、一般的な赤外線ランプは適していません。高い温度によって劣化しやすく、微細な粒子を放出してしまいます。それらの粒子は本...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つ方法 もしご自身がクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、粒子が飛び散るという問題がどれほど悩ましいかご存知でしょう。わずかな微粒子や、安価なヒーターから出るガスだけで、半導体ウェーハや医療用インプラントが台無しになってしまいます。...

無駄な熱の放出をやめましょう 一般的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。360度全方位に放射されます。 このような石英製ランプを半導体加工装置の中に入れると、ウェーハだけでなく、装置の内壁やケース、そしてその他すべての部分も加熱されてしまいます。これは電力の無駄遣いであ...

治療用の熱があちこちに漏れ出さないようにしましょう IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。半導体の硬化処理用チャンバーでは、ウェーハに当たらないエネルギーはすべて無駄になってしまいます。 しかし、それだけではありません。その余分な熱は、装置の内壁に悪影響を与えます。もし...

ウェーハに正確な熱を与えるには クリーンルームのベンチで赤外線ランプを使用するとき、うまくバランスを取る必要があります。ウェーハに正確な熱を与える必要がありますが、エネルギーを無駄にしたり、周囲の環境を壊してしまってはいけません。 そのため、私たちは金メッキされた反射板を使用します。これにより、支...

なぜ、現代のチップにとっては赤外線による硬化処理の方が適しているのか チップ産業では、鉛フリー化やカーボンニュートラル化を実現するための圧力が強まっています。多くの工場では依然として古い方式の対流式オーブンが使われていますが、問題は、そのようなオーブンは大きな空間を温めるために大量のエネルギーを消...

はじめに 想像してみてください。洗浄ステーションで、あちこちに水があり、完璧に機能しなければならない赤外線ランプがあります。これは非常に厳しい環境です。水と電気は相性が悪いのです。 だからこそ、私たちは赤外線ランプを完全に防水仕様にしています。そして何よりも、妥協はしません。一つ一つのランプが製造...

卸売用ウェーハ乾燥ランプ：そのパワーの背後にある真実 半導体ウェーハを迅速に乾燥させる方法について話しましょう。必要なのは、高品質な工業用加熱装置です。大手メーカー製品と同等の性能が求められますが、高額なコストは避けたいものです。まさにそのために、私たちはこの赤外線ランプを開発しました。手軽に取り...

300mmラインでは、よく知られている問題があります。つまり、フォトレジストを加熱する際に1℃のずれが生じると、重要な寸法が規格から外れてしまいます。このようなことを防ぐために、私たちは炭素繊維製の赤外線ランプシステムを開発しました。これにより、通常使われるハロゲンや石英光源の代わりに、NIR領域...

製造現場では、わずか0.5度の温度変動でも、重要な寸法が狂ってしまい、大量の製品が廃棄されてしまうことがあります。そこで、私たちはランプ用のSCR電力調整装置を開発しました。これにより、温度の変動を根本的に抑制し、ランプの出力が所定の値を維持できるようになります。つまり、ラインの電圧の影響を受けな...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの焼成過程での再現性は、単なる望ましい特性ではなく、むしろ不可欠な要素です。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃でも温度が変動すると、ウェーハの寸法制御が乱れてしまいます。また、わずかな粒子の混入だけで、大量のウェーハが廃棄されてしまうこともあります。そ...

リソグラフィーの工程において、ポリイミドの加熱処理は、熱エネルギーをどのように制御するかという点で重要です。数度の温度変動があると、ウェーハの側壁に歪みが生じます。また、局所的な過熱があると、ウェーハ上に粒子が発生します。したがって、この加熱処理は、すべてのロットにおいて、再現性があり、クリーンで...

リソグラフィフロアでは手順はおなじみだろう。フォトレジストのベーク時に1℃の変動があれば、ロット全体が廃棄になることもある。熱制御はセットポイントのように安定して動作しなければならず、予測不能な要素になってはいけない。だからこそ、歩留まりが繰り返し性にかかっている半導体グレードの加熱用にアルミ製...

ファブフロアでは、ソフトベークのひとつのトラブルがリソグラフィのシフト全体を台無しにすることがある。乾燥ランプの性能が低下すると、フォトレジストのプロファイルがずれ、歩留まりに影響を及ぼす。このウェハ乾燥用ランプバルブはそのリスクを低減するために設計されており、熱制御を仕様内に維持しつつ、コストを...