
クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つ方法
もしご自身がクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、粒子が飛び散るという問題がどれほど悩ましいかご存知でしょう。わずかな微粒子や、安価なヒーターから出るガスだけで、半導体ウェーハや医療用インプラントが台無しになってしまいます。本当に厄介で、費用もかかります。
私たちは、高純度の石英製のツインチューブランプに金コーティングを施すことで、この問題を解決する方法を見つけました。
なぜ金コーティングが重要なのか
一般的な石英ランプは、赤外線をあちこちに放出します。これは問題です。内管に金コーティングを施すことで、実質的に熱反射鏡が作られます。その結果、熱が筐体内部に戻るのではなく、集中した光束として前方に送り出されます。これにより、対象物により多くのエネルギーが届き、ランプの後部は冷たく保たれます。これは非常に重要で、筐体が変形したり、高温になったときに有害なガスが放出されるのを防ぎます。
粒子や部品の選定
私たちは合成フュージドシリカ、つまり高純度の石英を使用しています。これには、製品の品質を損なう金属不純物が含まれていないからです。また、大きな熱衝撃にも耐えられます。さらに、ツインチューブ構造により、ハロゲンサイクルが安定し、フィラメントの寿命も長くなります。
**設置時のヒント:**優しく扱ってください。石英は丈夫ですが、圧迫されるのは好きではありません。取り付け時にクランプを過度に締め付けると、早期故障の原因になります。適度に締めて、そのままにしておきましょう。
ラインへの組み込み方
これらのランプは、既存の硬化・乾燥ラインに直接取り付けることができます。金コーティングにより、熱出力が安定しているため、工程の精度を向上させることができます。
しかし、注意点があります。より多くの熱をワークピースに与えるため、冷却ファンも同じく十分な性能を発揮しなければなりません。ランプ周辺の空気が滞ると、コネクタが破損してしまいます。
500時間ごとに空気の流れを確認することをお勧めします。5分しかかかりませんが、大きな損害を避けることができます。