なぜゴールド反射型のIRが、より優れた半導体の硬化処理に不可欠なのか
従来の方法、つまり溶剤を使った乾燥や大型の対流式オーブンでは、もはや十分ではありません。みんな「グリーン」で鉛フリーの技術を求めていますが、実際の課題は、全体の組立工程の速度を落とさずにそれを実現することです。
そこで役立つのが赤外線（IR）による硬化処理です。しかし、単純な加熱要素では不十分です。ゴールド反射型のIRランプが必要なのです。
金の魔法
多くの人はアルミニウム製の反射板を使いますが、問題は、アルミニウムが余分なエネルギーを吸収してしまうことです。これは無駄遣いです。
一方、金は異なります。赤外線の約98％をウェハーに直接戻します。つまり、必要な場所に集中した高温領域を作り出すのです。最良な点は、装置全体や部品周辺の空気を温めることがないため、設置スペースが小さく、電力消費も少なくて済むことです。
プロセスの簡素化
従来の乾燥方法では、強制送風や有害な揮発性有機化合物（VOC）を扱わなければなりません。これは汚雑で時代遅れの方法です。
一方、IRによる硬化処理では、エネルギーが直接材料に伝達されます。燃焼による副産物もなく、溶剤も不要です。これははるかにクリーンな方法であり、そのため多くの工場がエネルギー節約のためにこの方式に切り替えています。
注意点
もちろん、これはすぐに使えるわけではありません。これらのランプは非常に高い熱量を放出します。タイミングが重要です。コンベヤベルトが少しでもずれたり、コントローラーに遅延があると、基板が焦げてしまいます。また、冷却ファンも適切に機能している必要があります。ケースが過度に熱くなると、金の層が剥がれてしまうこともあります。
私たちは、古い対流式システムに簡単に取り替えられるように、このランプを設計しました。熱源を交換し、正確なコントローラーに接続するだけで、硬化処理の時間が数分から数秒に短縮されます。実際、作業環境は劇的に改善されます。