ウェーハに正確な熱を与えるには
クリーンルームのベンチで赤外線ランプを使用するとき、うまくバランスを取る必要があります。ウェーハに正確な熱を与える必要がありますが、エネルギーを無駄にしたり、周囲の環境を壊してしまってはいけません。
そのため、私たちは金メッキされた反射板を使用します。これにより、支払った電力が実際にウェーハに熱として伝わり、部屋全体が温まってしまうことを防ぐことができます。
なぜ金を使うのか？
多くの人はアルミニウムを使い始めますが、問題はアルミニウムが赤外線エネルギーを大量に吸収してしまう点です。つまり、熱が無駄になってしまいます。
私たちは高純度の金を使用します。なぜなら、近赤外線をウェーハに向かって効果的に反射させるからです。熱がランプの本体に吸収されるのではなく、集中してウェーハに届きます。その結果、目標温度に到達するのが早くなり、保持するための電力も少なくて済みます。単純に、効果的なのです。
熱負荷の対処法
ワット数は重要ですが、実際には反射板の形状が重要です。
私たちは放物面や楕円形の曲面を利用して、エネルギーを集中させます。これにより、装置をコンパクトに保つことができます。しかし、問題もあります。大量のエネルギーを狭い空間に凝縮すると、ランプの端が非常に高温になってしまいます。
配線をしっかりチェックしてください。コネクタが十分な電流に耐えられるか確認してください。そうでなければ、端子が破損してしまいます。
トレードオフ
金を使うのには理由がありますが、少し手間がかかります。
このような表面は繊細です。クリーンルームの管理が不十分で、油やほこりが金の層に付着すると、反射率が低下してしまいます。また、強力な溶剤を使って洗浄しても、コーティングが剥がれてしまいます。
私たちは、1ワットあたりの熱エネルギーを最大限に引き出すようにランプを設計しています。これにより、電源への負担が軽減され、冷却ファンが正常に機能していれば、ベンチがオーブンのようになることもありません。