クラス100の清浄室を運用している場合、ガス発生という問題は避けられないものです。ヒーター要素から少しの汚れが飛び出すだけで、生産ライン全体が壊れてしまいます。 半導体製造工場では、一般的な赤外線ランプは適していません。高い温度によって劣化しやすく、微細な粒子を放出してしまいます。それらの粒子は本来あってはならない場所にたまります。 秘密は石英にあります そのため、私たちは高純度の合成石英をシールドとして使用しています。普通のガラスでは不十分で、高温になると不純物がガスに変わってしまいます。私たちの石英シールドは、ワークピースを守る役割を果たします。タングステンフィラメントが空気と反応しないようにし、金属粉がウェハーに付着するのを防ぎます。 なぜ石英が有効なのか それは、この材料が熱に対してどのように反応するかによります。石英は急激に温度が上昇しても変形したり割れたりしません。また、短波長の赤外線を通過させます。熱は必要な場所、つまり対象物に直接伝わり、シールド内に留まりません。 しかし、注意点があります。石英は化学的には安定していますが、表面に汚れが付きやすいのです。作業員が手でガラスに触れると、皮脂が表面に付着してしまいます。これにより「ホットスポット」ができ、ランプが早期に故障する原因となります。絶対に、繊維のない手袋を着用してください。毎回です。 工場内での導入方法 これらは、既存のランプと簡単に交換できるように設計されています。精度を厳密に管理しているため、しっかりと固定されます。これは安定性のためだけでなく、作業エリア内での空気の乱流によるホコリの発生を防ぐためでもあります。 最後に、電源にも注意が必要です。電圧が急上昇すると、フィラメントがちらつきます。その結果、ワークピースの加熱が不均一になり、面倒な問題が発生します。