Trên dây chuyền sản xuất có chiều dài 300mm, bạn biết rồi đấy: nếu có sự sai lệch 1°C trong quá trình nung phim quang học, thì các kích thước quan trọng của sản phẩm sẽ ngay lập tức vượt khỏi giới hạn cho phép. Chúng tôi đã phát triển hệ thống đèn hồng ngoại bằng sợi carbon nhằm ngăn chặn điều này xảy ra. Hệ thống này thay thế nguồn sáng halogen và thạch anh thông thường bằng bộ phát sáng bằng sợi carbon, giúp tạo ra luồng nhiệt đều và nhanh chóng – không gây ra các vùng nóng cục bộ.
Độ đồng đều nhiệt độ trên bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C, và độ lặp lại của giá trị nhiệt độ vẫn nằm trong khoảng này sau hàng ngàn lần sử dụng. Thời gian phản ứng của đèn chỉ dưới một giây, giúp kiểm soát chặt chẽ quá trình nung phim quang học. Đèn hoạt động tốt trong môi trường có độ sạch từ cấp 1 đến 100, không có hiện tượng tạo ra hạt bụi, và đáp ứng được các yêu cầu về mức độ phát khí thấp trong quy trình in ấn tiên tiến. Mức tiêu thụ năng lượng của đèn giảm khoảng 30% so với đèn halogen; tuổi thọ của bộ phát sáng lên đến 5.000 giờ với mức suy giảm hiệu suất dưới 5%.
Vậy điều này mang lại lợi ích gì? Đó là việc kiểm soát chặt chẽ các kích thước quan trọng của sản phẩm, giảm số lượng sản phẩm phải được sửa chữa, và duy trừ được chất lượng sản phẩm khi kích thước của các linh kiện ngày càng nhỏ hơn. Bạn có thể sử dụng lớp phim quang học mỏng hơn mà không lo lắng về hiệu quả sản xuất, đồng thời đảm bảo tính ổn định của quá trình nung phim quang học. Đèn này có thể được lắp đặt vào các thiết bị hiện có, sử dụng các giao diện và quy trình calibratization tiêu chuẩn, vì vậy bạn không cần phải tiến hành kiểm tra lại toàn bộ quy trình sản xuất.
Việc lắp đặt đèn chủ yếu liên quan đến việc kiểm soát tải nhiệt và kiến trúc kết nối giữa các bộ phận. Sợi carbon không chịu được áp lực cơ học, vì vậy cần tránh việc lắp đặt đèn ở những vị trí có áp lực cao, và cần đảm bảo rằng đèn có đủ không gian để hoạt động bình thường. Hãy tiến hành thử nghiệm ngắn để xác định mức độ phát sáng của đèn và điều chỉnh các thông số PID sao cho phù hợp với quy trình sản xuất. Khi đã được điều chỉnh đúng cách, đèn sẽ mang lại độ ổn định cần thiết cho quy trình sản xuất, hàng ngày.