अपने हीटिंग तत्वों के कारण अपने वेफरों को नष्ट होने से बचाएं।
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको पहले से ही इस समस्या का अनुभव होगा। थोड़ा सा भी धूल-कण – जिसे आप देख ही नहीं सकते – वेफर पर गिर जाता है, और फिर पूरी बैच की वेफरें बेकार हो जाती हैं। यह बहुत ही निराशाजनक एवं महंगा समस्या है… और इसका कारण आमतौर पर हीटिंग तत्वों से निकलने वाली गैसें ही होती हैं।
हमने इस समस्या को हल करने हेतु अपने आईआर लैंपों में उच्च शुद्धता वाला सिंथेटिक क्वार्ट्ज उपयोग में लाया।
क्यों क्वार्ट्ज महत्वपूर्ण है?
दरअसल, सामान्य काँच या सस्ता क्वार्ट्ज, सेमीकंडक्टर वातावरण की ऊँची तापमान स्थितियों को सहन नहीं कर पाता। जब तापमान बढ़ता है, तो उसमें मौजूद अशुद्धियाँ टूट जाती हैं… ऐसी स्थिति में लैंप से धुआँ निकलने लगता है, एवं कण भी उड़ने लगते हैं।
हमारा फ्यूज्ड सिलिका अलग है… हम इसमें धात्विक अशुद्धियों की मात्रा को बहुत ही कम रखते हैं… इससे लैंप साफ रहता है। इसके अलावा, यह रासायनिक रूप से निष्क्रिय है… इसलिए इस पर किसी भी प्रकार की गैसों का कोई प्रभाव नहीं पड़ता।
ऊष्मा को ठीक वहीं पहुँचाना
आपको वेफर को जल्दी से गर्म करने की आवश्यकता है… लेकिन आप उसके आसपास की हवा को गर्म नहीं करना चाहते।
हमारे लैंप शॉर्ट-वेव विकिरण का उपयोग करते हैं… यह विकिरण सीधे वेफर की सतह पर पहुँचता है… यह बहुत ही महत्वपूर्ण है… क्योंकि इससे वायु-प्रवाह कम हो जाता है… और धूल/कण वेफर तक नहीं पहुँच पाते।
आप अपनी आवश्यकताओं के अनुसार इन लैंपों का वॉटेज/वोल्टेज चुन सकते हैं… यदि आप उच्च वॉटेज वाले लैंप उपयोग में लाते हैं, तो चेम्बर में जगह भी बच जाती है… लेकिन ध्यान रखें… इतनी अधिक ऊष्मा के कारण लैंप में बहुत गर्मी पैदा हो जाती है… इसलिए आपके कूलिंग सिस्टम भी मजबूत होने चाहिए… वरना आपके कनेक्टर नष्ट हो जाएँगे।
आसान रखरखाव, कम झंझट
किसी को भी घंटों तक रखरखाव करना पसंद नहीं है… हम कुछ विकल्प प्रदान करते हैं… ताकि चेम्बर में वैक्यूम लीकेज न हो… जब कोई लैंप खराब हो जाता है, तो आप उसे आसानी से बदल सकते हैं… आपको पूरे रैक को फिर से व्यवस्थित करने या उस क्षेत्र को साफ करने की आवश्यकता नहीं है… यह बहुत ही आसान है… और इससे आपको नए कंटामिनेंट्स के जोखिम से भी बचने में मदद मिलती है।