Перестаньте тратить энергию впустую
Проблема стандартных инфракрасных ламп заключается в том, что они излучают тепло во все направления – на 360 градусов. Когда такую лампу помещают в камеру для обработки полупроводниковых пластин, происходит нагрев не только самой пластины, но и внутренних стенок камеры, корпуса аппарата и по сути всего, что находится внутри. Это является пустой тратой энергии; к тому же это создает серьезные проблемы с безопасностью. Никто не хочет иметь аппарат, который нагревается до такой степени, что может обжечь оператора из-за распространения тепла во всех направлениях.
Решение
Чтобы решить эту проблюму, мы наносим тонкий слой золота на заднюю часть кварцевого корпуса лампы. Можно считать это своего рода зеркалом для инфракрасного излучения. Вместо того чтобы позволять энергии распространяться обратно в корпус аппарата, золото отражает ее обратно вперед. Это позволяет сосредоточить тепло именно там, где это необходимо. В результате пластина получает нужную температуру, а стенки аппарата остаются прохладными на ощупь.
Недостатки
Поскольку тепло сосредотачивается в одном направлении, можно использовать более высокую мощность без опасений, что это приведет к повреждению внутренних компонентов аппарата или срабатыванию датчиков перегрева. Это очень важно для высокоточных устройств, где тепловая стабильность имеет решающее значение.
Но есть и недостаток: поскольку вся энергия направляется в одном направлении, интенсивность излучения на целевой объект значительно возрастает. Если материал не может выдержать такую нагрузку, могут возникнуть точки с повышенной температурой на поверхности пластины. Придется скорректировать параметры контроллера PID, чтобы справиться с повышенной нагрузкой. Это небольшая корректировка, но она приносит большую пользу.
Почему это важно
Использование ламп с золотым покрытием позволяет избавиться от необходимости использования мощных систем охлаждения. Больше не нужны громоздкие защитные экраны, которые окружают стенки камеры. Все это делает конструкцию аппарата более компактной. Операторы могут свободно передвигаться внутри аппарата, а затраты на электроэнергию снижаются, поскольку больше не требуется нагревать воздух внутри камеры. Все это делает процесс обработки более эффективным.