제조 현장에서는, 단지 0.5도라는 미세한 온도 변화만으로도 제품의 치수가 왜곡될 수 있으며, 그 결과 전체 생산량이 낭비될 수 있습니다. 저희는 이러한 문제를 해결하기 위해 램프용 SCR 전력 조절기를 개발했습니다. 이를 통해 램프의 출력이 설정된 값에 맞게 유지되며, 회로의 전압 변동에 영향을 받지 않습니다.
기술적으로 중요한 점은 무엇인가? 이 장치는 할로겐, 석영, 단파, 중파, 탄소섬유 기반의 근적외선 소스에 적합한 램프 드라이버와 함께 작동하는 순환형 SCR 컨트롤러입니다. 이를 통해 베이킹 플레이트 전체에서 ±0.1°C의 열 균일성을 유지할 수 있으며, 제품 간의 반복성도 ±0.2°C 이내로 유지됩니다. 출력값은 설정된 값의 0.1% 이내로 유지되며, 설정값 변경이나 회로 전압 변동에 대해서는 10ms 미만의 빠른 반응 시간을 보입니다. 이 장치는 클래스 1–100급 청정실에서 사용할 수 있도록 설계되었으며, 열 발생이 전혀 없으며 EMI 문제도 방지됩니다.
포토레지스트 처리 과정에서는 부드러운 베이킹, 강한 베이킹, 그리고 노출 후 베이킹 등이 모두 열 관리에 따라 결정됩니다. SCR 조절기 덕분에 램프의 에너지가 일정하게 유지되므로, 매번 목표로 하는 CD 값과 프로파일을 얻을 수 있습니다. 그 결과 재작업이 줄어들고, 첫 번째 시도에서의 성공률이 높아집니다. 또한 웨이퍼와 생산량에 관계없이 일관된 열 프로파일을 얻을 수 있습니다.
또한, 램프가 과도한 부하를 받지 않아 에너지 절약 효과도 있으며, 안정적인 작동 조건 덕분에 램프의 수명도 연장됩니다.
다음은 구체적인 세부 사항입니다. 드라이버는 램프가 처음 작동할 때의 저항 특성에 맞게 조정되어야 합니다. 맞지 않는 램프는 급격한 전류 흐름을 유발하여 보호 장치가 작동할 수 있습니다. 설치 시에는 고전류 회로로부터 분리된 저잡음의 제어 신호선이 필요하며, 열 인터페이스도 깨끗하고 평탄해야 합니다. 이를 통해 일관된 열 균일성을 유지할 수 있습니다.
귀하의 램프와 베이킹 플레이트의 특성에 맞게 PID 값을 조정하기 위해서는 짧은 시간의 테스트가 필요합니다.