如何精确控制晶圆的加热温度
在洁净室中使用红外灯时，需要找到一个理想的平衡点。你需要给晶圆提供精准的热量，但同时又不能浪费能量或破坏洁净室的环境。
因此，我们选择使用镀金反射器。这是确保所投入的电能真正用于加热晶圆的最佳方式，而不会让整个房间变得过热。
为什么选择黄金？
大多数人最初会选择铝作为反射材料，但问题在于：铝会吸收过多的红外能量，导致热量被白白浪费掉。我们则选择高纯度的黄金，因为它能够有效地将近红外光反射回晶圆上。这样一来，热量就不会散失到灯体中，从而更快达到目标温度，同时也能降低能耗。
应对热量问题
功率只是其中的一半因素。真正关键的是反射器的形状。我们使用抛物线形或椭圆形的反射器，这样可以将能量集中到一个小范围内，从而让设备更易于安装在工作台上。不过，这样做有个缺点：当大量能量被集中在一个小空间内时，灯的末端会变得极其烫。因此，必须检查电路连接是否正常，确保连接器能够承受相应的电流，否则就可能导致端子烧毁。
权衡利弊
黄金虽然是最理想的材料，但其维护成本相对较高。这些反射表面非常敏感，如果洁净室的环境不达标，有油污或灰尘附着在黄金层上，其反射性能就会下降。而且，不能使用强力溶剂来清洁它，否则会破坏镀层。我们设计的灯具旨在最大限度地利用每一瓦特的能量，从而减轻电源的负担，避免工作台变得像烤箱一样炎热，当然，前提是冷却风扇能够正常工作。