วิธีรักษาความสะอาดของแผ่นเวเฟอร์ MEMS ในช่วงการทำให้แห้ง
หากคุณทำงานในห้องสะอาดระดับ Class 100 คุณคงรู้ดีว่ามันน่าปวดหัวแค่ไหน… เพียงแค่มีเศษสิ่งสกปรกเล็กๆ จากเครื่องทำความร้อนเข้ามา แผ่นเวเฟอร์ทั้งหมดก็จะกลายเป็นขยะไปเลย นั่นเป็นเรื่องน่าหงุดหงิดมาก นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากควอตซ์คุณภาพสูง
องค์ประกอบที่ใช้สร้างความร้อนส่วนใหญ่มักจะปล่อยก๊าซออกมา หรือเกิดการแตกเป็นเศษเล็กๆ เมื่อเวลาผ่านไป แต่หลอดไฟควอตซ์นั้นไม่เป็นเช่นนั้น มันสามารถสร้างความร้อนได้อย่างรวดเร็ว เพื่อทำให้แผ่นเวเฟอร์แห้งได้ทันที โดยไม่ก่อให้เกิดสิ่งสกปรกที่เป็นโลหะไว้เลย
เหตุผลที่ควอตซ์เหมาะสมสำหรับการใช้งาน
เราเลือกใช้คลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น เพราะมันสามารถทะลุผ่านความชื้นบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ได้เร็วกว่าคลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นยาวมาก
เนื่องจากควอตซ์มีความบริสุทธิ์สูง คุณจึงไม่ต้องกังวลเรื่องไอออนที่อาจเข้าไปทำลายเซ็นเซอร์ MEMS นอกจากนี้ ผิวของควอตซ์ยังช่วยป้องกันไม่ให้เส้นลวดทังสเตนสัมผัสกับอากาศในห้องสะอาดด้วย เราจึงไม่เลือกใช้แก้วราคาถูก เพราะมันไม่สามารถทนต่อความร้อนสูงได้ และอาจแตกได้ทันทีที่มีการใช้งานอย่างหนัก
ประสิทธิภาพสูงในพื้นที่จำกัด
หลอดไฟเหล่านี้สามารถสร้างพลังงานความร้อนได้มากในพื้นที่ขนาดเล็ก ข้อดีก็คือคุณสามารถลดขนาดของเครื่องทำความร้อนลงได้ โดยยังคงได้ความร้อนเพียงพอเพื่อทำให้ของเหลวระเหยได้ทันที นอกจากนี้ หลอดไฟเหล่านี้ยังสามารถทำงานร่วมกับตัวควบคุม PID ได้ดีอีกด้วย ทำให้อุณหภูมิสามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำ
อย่างไรก็ตาม มีข้อควรระวังอยู่อย่างหนึ่ง นั่นก็คือ เนื่องจากความหนาแน่นของความร้อนสูงมาก พื้นผิวของหลอดไฟจึงร้อนขึ้นอย่างรวดเร็ว หากตัวเครื่องไม่ได้ถูกออกแบบมาให้รองรับกระแสอากาศที่มีอุณหภูมิสูง ก็อาจทำให้ตัวเครื่องบิดเบี้ยว หรือทำให้เซ็นเซอร์ตรวจจับอุณหภูมิสูงทำงานตลอดเวลา ควรระวังเรื่องนี้ในระหว่างการติดตั้งด้วย
การทำให้แห้งในสภาพจริง
เราออกแบบหลอดไฟเหล่านี้มาให้สามารถใช้แทนระบบจัดการแผ่นเวเฟอร์อัตโนมัติได้ มันสามารถทำให้แผ่นเวเฟอร์ร้อนขึ้นอย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นที่ ซึ่งหมายความว่าจะไม่มี “จุดเย็น” หรือรอยน้ำหรือสิ่งสกปรกอื่นๆ เหลืออยู่เลย
และนี่คือสิ่งที่ดีที่สุด… นั่นก็คือไม่มีลมร้อนที่พัดผ่านแผ่นเวเฟอร์เลย คุณจึงไม่ต้องกังวลเรื่องอนุภาคที่อาจเกิดขึ้นจากกระแสลม แผ่นเวเฟอร์จะมีพื้นผิวที่แห้งสนิท และสะอาดจริงๆ