MEMS传感器晶圆干燥加热器

在干燥过程中保持MEMS晶圆表面洁净无瑕 如果在100级洁净室中工作，您肯定知道那有多可怕：哪怕有那么一点点来自加热元件的碎屑，整批晶圆就都报废了。这真是令人沮丧。因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。 大多数加热元件都会随着时间的推移而释放气体或出现碎屑现象。而这种石英管则不会如此。它们能以...